萍鄉某微電子半導體體酸堿廢氣處理案例
1.1 項目概況
本項目運營期間電鍍過程中產生的甲基磺酸霧,為減少酸霧對周圍環境影響,需對產生的甲基磺酸霧進行收集集中治理。
根據按環評資料,電鍍過程中產生甲基磺酸霧產生總量為 7.14t/a
根據現場情況和環評要求,采用集氣管收集+堿液噴淋塔+排氣筒高空排放的工藝來治理。
1.2 處理工藝
根據甲基磺酸霧的物理特性:甲基磺酸是易溶于水的物質,對氫氧化鈉也能產生化學中和反應。根據甲基磺酸霧的物理特性和環評要求,甲基磺酸霧采用噴淋塔來吸收凈化治理,其工藝流程圖如下所示:
(酸、堿洗)噴淋塔技術原理
洗滌塔為填料吸收塔,塔內氣體通過風機由下向上送入。在一定的溫度和壓力下,水由循環泵打入塔頂,塔內特有的布液裝置使吸收液均勻向下噴淋,溶液能達到霧化狀態,形成逆流吸收效果。
酸洗噴淋塔酸洗凈化,可以去除廢氣中的堿性成分、顆粒物以及其他水溶性雜質。廢氣中的堿性物質與附著在填料表面的酸性液體相接觸進行中和反應,以達到凈化廢氣的目的。當吸收了一定量的雜質后,會達到飽和狀態,須向洗滌塔中的飽和酸液中加入稀硫酸以確保進一步清除雜質。
堿洗噴淋塔堿洗凈化,通常放在酸洗之后,可以去除廢氣和上一級洗滌中的酸性成分、顆粒物以及其他水溶性雜質。廢氣中的酸性物質與附著在填料表面的堿性液體相接觸進行中和反應,在循環液趨于飽和狀態時需要添加片堿以維持處理效果。
噴淋塔外型為圓形式塔體,配有自動補水口、檢修口<帶有機玻璃視鏡>、供液口、排放口等功能,操作、維護管理十分方便。通過視鏡隨時可以觀察和檢查運行情況,主要是噴嘴的工作狀況,可以通過檢修孔很方便地及時檢修和排除故障。內置環形噴淋和填料反應層,底部為循環液配液箱、自動補水口、排放口和循環噴淋泵。循環液噴淋泵為立式離心耐腐蝕泵。故這樣的結構設計,占地面積小、功能配置齊全,便于操作和維護管理。
1.2.1 廢氣收集
廢氣的收集根據現場情況,生產工藝上都預留了規格為¢200mm的排氣口(排氣口數量:22個),通過風管將所有排氣口連接起來,再一起被輸送到總風管內,再被輸送到噴淋塔內進行吸收凈化,凈化后的廢氣通過煙囪高空排放。
根據環評和業主要求,廢氣風量按50000m3/h進行設計。
現場照片如下圖所示:
1.3 工程案例圖片